熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)通過測量氣體流經(jīng)流量計(jì)內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來計(jì)量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測，另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。

優(yōu)點(diǎn)：

1.熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)可測量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量；浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)可測量低~中偏高流速(氣體2~60m/s)，插入式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。

2.熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)無活動(dòng)部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小。

3.熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)使用性能相對可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計(jì)算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現(xiàn)故障概率小。

缺點(diǎn)：

1.熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)響應(yīng)慢。

2.被測量氣體組分變化較大的場所，因cp值和熱導(dǎo)率變化，測量值會(huì)有較大變化而產(chǎn)生誤差。

3.對小流量而言，儀表會(huì)給被測氣體帶來相當(dāng)熱量。

4.對于熱分布式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)，被測氣體若在管壁沉積垢層影響測量值，必須定期清洗；對細(xì)管型儀表更有易堵塞的缺點(diǎn)，一般情況下不能使用。

5.對脈動(dòng)流在使用上將受到限制。

6.液體用熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)對于粘性液體在使用上亦受到限制。